熱式氣體質量流量計是利用傳熱原理檢測流量的儀表，即根據流動中的流體與熱源(流體中外加熱的物體或測量管外加熱體)之間熱量交換關係進行測量，主要用於測量氣體。

熱式氣體質量流量計主要分為熱分布式和浸入式(或插入式)兩大類。

熱分布式流量計的主要特點是采用非接觸式測量，可以直接測量質量流量無需溫壓補償，無活動部件，無阻流件，壓力損失小，可測量低流速微小氣體流量，可靠性高。但是要求氣體介質幹燥潔淨，不含水分、油等雜質，可獲線性特性，可用於測量大、中氣壓流量，使用時要保證分流溫度。針對小、微量氣體流量，熱分布式流量計可用於單一組分氣體或固定比例的混合氣體測量。

浸入式流量計主要適用於大口徑、非圓截麵管道、現場空間狹窄處測量，檢測作為帶不鏽鋼外殼的鉑電阻傳感器，對於其他中的粉塵、固體顆粒、油分、水分不敏感。插入式可以不斷流取出維修更換。可用於測量髒汙流體測量。大口徑流量測量中可選用插入式浸入式熱式質量流量計。

熱式氣體質量流量計安裝使用注意事項：大部分熱式分布式的質量流量計可任意水平、垂直或傾斜安裝，隻要在安裝好後在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調整，但是有些儀表則對安裝姿勢敏感，必須嚴格按說明書進行。大部分浸入式熱式質量流量計性能不受安裝姿勢影響，但是在低流速時要嚴格按說明書進行。前直管段方麵，熱分布式不敏感，而帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前直管段，按製造廠建議安裝。